ウエハに向かって気体を噴出することにより、ウエハとの距離が大きい場合にベルヌーイ効果による負圧を発生し、ウエハを引き寄せる。距離が小になれば圧力式エアクッション効果により正圧に転じ、ウエハを引き離す。
排気回収機構を設けているので超クリーンルームでの使用が可能。
有限会社
ソ−ラ−リサ−チ研究所
大阪府豊中市北桜塚2-7-12
TEL 06(6852)3876
特徴
１．非接触にて懸垂搬送する
２．超クリーンルームにてしよう可能
３．傷、汚れパッド跡を付着しない
会社案内
当社は、気体を噴出することによりベルヌーイ効果及びエゼクタ効果による負圧発生、および圧力式エアクッション効果による正圧発生を応用した非接触搬送装置「フロ−トチャック」（特許）を開発した。｛フロ−トチャック」を用いた非接触搬送装置及び非接触搬送システムの設計・製作を行っていろ。
詳細
超薄ウエハ、ガラス基板を非接触にて搬送します。（有） ソーラーリサーチ研究所が開発しました。
超薄ウエハ・ガラスを非接触にて搬送するベルヌーイチャック
