20μm厚さの極薄ウエハ非接触搬送装置 Φ450ｍｍ厚さ20μmの超薄ウエハを非接触にて搬送する「ベルヌーイチャック」 ウエハ非接触搬送装置の総合メーカ （有）ソーラーリサーチ研究所