VGFS気体垂直噴流方式
「ベルヌーイチャック」

フロートチャックWA型
(クリンルーム仕様)

ウエハ

超薄ウエハ用ベルヌーイチャック

フロートチャックFT型
キャリア用

Φ300ウエハ 非接触搬送装置

5.非接触搬送装置

フローリング材貼わせ装置

第8世代液晶ガラス基板
非接触搬送装置

コンタクトレンズ
搬送装置用ピンセット

Solar Research Lab.

粘着ワーク用ベルヌーイチャック
超薄ガラス・フィルム搬送装置
20μm Φ300mmウエハ 非接触搬送装置

フロートチャックLNA型(セラミックスルホール基板、不織布、、フィルム,布

通気性シート搬送装置
フロートチャックCHO型
(20μm厚ウエハ用

SRL

[お問い合わせ先]
(有)ソーラーリサーチ研究所
〒560-0022大阪府豊中市北桜塚2-7-14
電話:06-6852-3876
E-mail:info@solarlab.co.jp
不織布貼り合わせ装置
積層フィルム供給装置
ガラス基板非接触搬送装置
G8 LCD非接触搬送装置

特徴

  1. ワークの性状に合わせた非接触搬送デバイスを製作します。
  2. 仕様に合った装置を製作します。
  3. 消費エネルギーを重要視し、製作します
  4. 環境を重視します。
ソフトコンタクトレンズ用ピンセット
ソーラウエハ用ベルヌーイチャック

ウエハチップ非接触ピンセット   (5mmx5mmウエハチップ)   

ウエハ非接触ピンセット

4.非接触ピンセット(ウエハ、ガラス、レンズ、チップ、太陽電池、セラミック他)

コンタクトレンズ搬送装置用

フロートチャック1.0x1.0型

ウエハチップ(□1.0mm)
1mm 角ウエハチップ用ベルヌーイチャック

3.フロートチャック(微小ワーク,ウエハチップ、HDDスライダー、レンズ)

フロートチャックWAS型(クリンルーム仕様)
サファイアウエハ

SiCウエハ用ベルヌーイチャック

フロートチャックSAC型

用途  ウエハ、ガラス、平板非接触搬送装置「フロートチャックSA-C型」

1.フロートチャック(平板状ワーク用)


フロートチャックLN型
(粘着性フィルム搬送用

フロートチャックLNAS型
(50μm超薄型ガラス、反りウエハ、
機能性フィルム、超薄ウエハ
  1. ワークの性状に合わせた非接触搬送デバイスを製作します。
  2. 仕様に合った装置を製作します。
  3. 消費エネルギーを重要視し、製作します
  4. 環境を重視します。

φ6.0完全非接触レンズ
搬送装置

φ10レンズ非接触搬送装置

レンズ用ベルヌーイチャック
レンズ用ベルヌーイチャック
含水したソフトコンタクトレンズ搬送装置

太陽電池非接触ピンセット

ウエハ非接触ピンセット(1/4in〜450mmウエハ

ウエハピンセット































2.フロートチャック(通気性ワーク用・超薄ワーク・反り・粘着性ワーク用)

積層フィルム送出装置

ウエハ移載装置

製品

特徴




フロートチャックSAC型シリーズ

概要

SRL/ベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」は新しくVGFS気体垂直噴流方式を採用しております。VGFS気体垂直噴流方式クッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。