VGFS気体垂直噴流方式
「ベルヌーイチャック」
5.非接触搬送装置
Solar Research Lab.
SRL
特徴
4.非接触ピンセット(ウエハ、ガラス、レンズ、チップ、太陽電池、セラミック他)
3.フロートチャック(微小ワーク,ウエハチップ、HDDスライダー、レンズ)
1.フロートチャック(平板状ワーク用)
特徴
フロートチャックSAC型シリーズ
SRL/ベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」は新しくVGFS気体垂直噴流方式を採用しております。、VGFS気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。