非接触エンドエフェクター
300mm厚さ50μmの薄いウエハをキズ、ストレスをかけることなく非接触にて搬送するロボットハンド。ベルヌーイチャックとも言う
非接触搬送装置の総合メーカ
(有)ソーラーリサーチ研究所