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ソーラーリサーチ研究所
ベルヌーイチャック(フロートチャック)
非接触搬送装置
非接触搬送システム

ウエハ、ガラス基板、フィルム、シートを非接触にて搬送する
ベルヌーイチャック/非接触搬送装置総合メーカ

 有限会社ソ−ラ−リサ−チ研究所


新技術の採用:
ベルヌーイチャック「フロートチャックSA-C(SAN)型」は新しくVGFS(気体垂直噴流方式)を採用しております。  気体垂直噴流方式クッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。

 新機構VGFS(気体垂直噴流方式)機の非接触搬送装置
ベルヌーイチャック
「フロートチャックSAC型」





















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