（有）ソーラーリサーチ研究所

　当社にて開発した気体を噴出することにより、ワークを空中に浮遊した非接触にて懸垂保持し、搬送する非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）および「フロートチャック」を用いた半導体ウエハ、ガラス基板、プリント基板他の精緻ワークの非接触搬送ｼｽﾃﾑの製作を行っています。