５０μm厚さガラス、セラミックスルーホール基板、不織布を搬送するベルヌーイチャック「フロートチャックＬＮＡ型」

ﾌﾛ-ﾄﾁｬｯｸ型式	直径(mm)	高さ(mm)
LNA-1型	Φ３０	２３
LNA-2型	Φ５０	３０
LNA-3型	Φ７０	３３

原理：「非接触搬送装置LNA型」は噴出気流が直接ワークに衝突するのを防止する気流偏向器を備えています。そのため極薄シート、光学フィルム、50μm厚さガラス、25μm厚さウエハ、フレキシブルプリント基板、不織布、セラミック基板、スルーホール基板を損傷せず、非接触にて搬送することが可能になります。

「非接触搬送装置ＬＮＡ型」は、空気を噴出させることによりワークとの距離に応じてその内部をエゼクタ効果およびベルヌーイ効果により負圧にし、また圧力室型エアクッション効果および空気流のクッション効果により正圧にすることにより、ワークを非接触状態にて懸垂保持する機能を有しております。
　「非接触搬送装置LNA型」は空気噴出ノズルの直下に気体偏向器を設けております。
　気体偏向器により、ノズルより噴出した高圧空気は直角方向に変更され、直接ワークに衝突することはありません。　従って圧力線図に示すようにワークに高圧噴出空気による局所応力を与えることはありません（負圧になっている）。
　このため薄いワーク、脆いワークも破損することはありません。
　また不織布、紙、布等の通気性ワーク、スルホール基板等も把持、搬送が可能です。、

◎適応
１．極薄ガラス（厚さ３０μm）
２．超薄ウエハ（厚さ２０μm）
３．グリーンシート
４．フィルム（厚さ１０μm）
５．通気性ｼｰﾄ（不織布、紙、布他）
６．スルーホール基板
７．太陽電池ウエハ
８．サファイアウエハ