25μm厚さガラス、超極薄5μmフィルム、25μm厚さウエハ、フレキシブルプリント基板、スルーホール基板を非接触にて搬送するベルヌーイチャック 「超薄ガラス非接触搬送装置」
ガラス非接触搬送装置(特許)
SRL
フロートチャックLNAS型
◎超薄ガラス非接触搬送装置
「超薄ガラス非接触搬送装置」には、超薄フィルムを非接触にて把持し搬送する非接触吸着器はソーラーリサーチ研究所にて開発しました「フロートチャックLNAS型」(特許)にて構成されています。
「フロ-トチャックLNAーC型」は、空気を噴出させることによりワークとの距離に応じてその内部をエゼクタ効果およびベルヌーイ効果により負圧にし、また圧力室型エアクッション効果および空気流のクッション効果により正圧にすることにより、ワークを非接触状態にて懸垂保持する機能を有しております。
「フロートチャックLNAS-C型」では吸着用高圧空気は中央部に開口したクッションルームに設けられたノズル筒のノズルより水平方向に噴出するため、高圧空気は直接ワークに衝突することはありません。 またワークに高圧噴出空気による局所応力を与えることはありません。 さらに「フロートチャックLNAS-C型」には、ノズル筒下端には下端面には負圧を生じさせない均圧管(特許)を設けております。そのためノズル筒下面で負圧は生じることなく、極薄柔軟フィルムでも反りが生じて接触することはありません。
「超薄ガラス非接触搬送装置」に装着する「フロートチャックLNAS-C型」は、フィルムの厚さ、柔軟性、大きさ、重量他ワーク箇々の性状に応じて製作します。
このため薄いワーク、脆いワークも破損することはありません。
また不織布、紙、布等の通気性ワーク、スルホール基板等も把持、搬送が可能です。
型 式 | 直径mm | 高さmm | |
LNAS-1C型 | 40 | 20 | |
LNAS-2C型 | 50 | 20 | |
LNAS-3C型 | 70 | 20 | |
LNAS-4C型 | 95 | 25 |
◎フロートチャックLNAS型(特許)
超薄ガラス非接触搬送装置