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参照:http://www.solarlab.co.jp/sac1

超薄フィルム非接触搬送装置
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極薄5μmフィルム、10μm厚さガラス、グリーンシート、不織布を非接触にて搬送する  

 超薄フィルム非接触搬送装置

「フロートチャックLNAS-F型」

会社案内

 >型  式  直径mm  高さmm  
LNAS-1F  40  20  
 LNAS-2F  50  20  

 
LNAS-3F
 70  20  

LNAS-4F型
 
95  25   
(有)ソーラーリサーチ研究所
大阪府豊中市北桜塚2-7-14
 電話 06(6852)3876
   お問合せ


   

超薄フィルム非接触搬送装置
「超薄フィルム非接触搬送装置」には、3μm厚超薄フィルムを非接触にて把持し搬送する非接触搬送装置はソーラーリサーチ研究所にて開発しました「フロートチャックLNAS-F型
(特許)にて構成されています。
 「フロ-トチャックLNAーCF型」は、空気を噴出させることによりワークとの距離に応じてその内部をエゼクタ効果およびベルヌーイ効果により負圧にし、また圧力室型エアクッション効果および空気流のクッション効果により正圧にすることにより、ワークを非接触状態にて懸垂保持する機能を有しております。

フィルム搬送ロホット




 「フロートチャックLNAS-CF型」では吸着用高圧空気は中央部に開口したクッションルームに設けられたノズル筒のノズルより水平方向に噴出するため、高圧空気は直接ワークに衝突することはありません。 またワークに高圧噴出空気による局所応力を与えることはありません。 さらに「フロートチャックLNAS-C型」には、ノズル筒下端には下端面には負圧を生じさせない均圧管(特許)を設けております。そのためノズル筒下面で負圧は生じることなく、極薄柔軟フィルムでも反りが生じて接触することはありません。
 「超薄フィルム非接触搬送装置」に装着する「フロートチャックLNAS-C型」は、フィルムの厚さ、柔軟性、大きさ、重量他ワーク箇々の性状に応じて製作します。
 このため薄いワーク、脆いワークも破損することはありません。
 また不織布、紙、布等の通気性ワーク、スルホール基板等も把持、搬送が可能です。




















































































































納入実績

◎性能表
フロートチャックLNAS-C型
 ◎適応 
   ・10μm厚さの超薄ガラス 
   ・3μm厚さのフィルム
   ・20μm厚さウエハ
   ・多孔質フィルム
   ・多孔質フィルム
   ・グリーンシートシート
   ・スルーホール基板
   ・超薄光学フィルム   
   ・不織布

極薄フィルム非接触搬送装置

ベルヌーイチャック 超薄フィルム用
フロートチャックLNAS-C型性能図

フロートチャックLNAS-F型 (特許)

フロートチャックLNAS-C型圧力図
フロートチャックLNAS-C型