粘着性フィルム・粘着性シート搬送装置

　結晶シリコン系太陽電池、電子ペーパ、タッチパネル、有機トランジスタ、有機太陽電池等のエレクトロニクス素子の作成において粘着性フィルム･、脆弱で柔軟な極薄のフィルムを多用しています。
「粘着性フィルム・粘着性シート搬送装置」は、非接触搬送装置「フロートチャックLN型」（特許）の気体流による非接触搬送の技術をもちいたものです。

非接触搬送装置「フロートチャック」は、基体流の負圧発生機能としてエゼクタ効果およびベルヌーイ効果、正圧発生機能として圧力室型エアクッション効果および気対流のクッション効果を有しています。　この機能を生じさせることによりフィルムを懸垂保持させます。
「粘着性フィルム・粘着性シート搬送装置」は、「フロートチャック」の技術をもとに開発したものです。
　噴出気体流は直接フィルムと平行にながれ、底面と底面に設けた支持板との間隙を通り排出します。その間に基体中央に形成されているクッション室は負圧を発生しフィルムは吸引され支持板に保持されます。
フィルムには噴出気体は衝突しない機構になっております。
クッション室に生じる負圧はクッション室全面にわたりほぼ均一になっております。

◎特徴
1.　粘着性フィルムを粘着させることなく非接触にて搬送する
２．脆い、弱い、薄いフィルムを破損せずに搬送が可能である。
３．噴出気体流がフィルムに衝突しない。
４．吸引圧力が保持面全体でほぼ均一である
５．フィルムの脆さに応じた吸引力に調整が可能である。
６．フィルムの支持間隔が小さい。