ウエハ、チップ、ウエハ、レンズ、太陽電池基板、ガラス基板をハンドルの先端の非接触搬送装置
「ベルヌーイチャック」をハンドルを持つ手の操作により空気供給のON−OFFを行う
「ベルヌーイピンセット」です。ウエハを非接触にて吸着し、脱着を行います。
「
ベルヌーイピンセット」は、空気を噴出させることによりワークとの距離に応じてその内部をエゼクタ効果およびベルヌーイ効果により負圧にし、また圧力室型エアクッション効果および空気流のクッション効果により正圧にすることにより、基板を無接触状態にて懸垂保持する機能を有しております。
・非接触にて吸着搬送可能
・ 手操作である。
・ 傷・汚れ・損傷がない
・ ウエハ
・太陽電池
・チップ
・レンズ
・ガラス基板