CVD高温サセプター用 ウエハ非接触ピンセット
ウエハプロセス用 非接触ピンセット
太陽電池ウエハ用非接触ピンセット
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◎特徴
微小チップ非接触ピンセット
会社案内
 
◎機器説明非接触ピンセット(太陽電池ウエハ用)は、高温太陽電池ウエハをハンドルに付いたバルブを手の操作により気体の供給をON−OFFを行い、太陽電池ウエハを非接触にてチャッキングし、脱着を行います。テーブル上ある太陽電池ウエハあるいはカセットから太陽電池ウエハを非接触にて取り出し、挿入を行います。























           
 
「太陽電池ウエハ用非接触ピンセット」は、気体を噴出させることによりワークとの距離に応じてその内部をエゼクタ効果およびベルヌーイ効果により負圧になり、また圧力室型エアクッション効果および気流のクッション効果により正圧になります。その圧力の均衡した距離にて太陽電池ウエハを非接触状態にて懸垂保持し搬送します。                                                             


非接触ピンセット(太陽電池用)は耐熱250℃
金属部品は使用しておりません。・
耐酸、対アルカリ部材を使用しております。















            
太陽電池ウエハをキャリア、CVDサセプタに非接触にてローダ・アンローダする非接触ピンセット
「 太陽電池ウエハ非接触ピンセット」(特許)
(有) ソーラーリサーチ研究所
大阪府豊中市北桜塚2-7-12
Tel 06-6852-3876
URL:http://www.solarlab.co.jp
お問い合わせ

参照:CVDサセプタ用耐熱非接触ピンセット