製造品目

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	品目名	特徴
	非接触搬送装置「フロ−トチャック」	気体によりワークを非接触状態にて懸垂保持し搬送する。ベルヌーイチャックともいう
	Bernoulli Chuck	Non-contact conveyance for semi wafer,FPD glass board etc.
	ウエハー非接触搬送装置	ウエハーを、気体により非接触状態にて懸垂保持し搬送する
	ガラス基板非接触搬送装置	液晶、ＰＤＰガラス基板を、気体により非接触状態にて懸垂保持し搬送する。
	薄いウエハ非接触搬送装置	厚さ２０μmのウエハを損傷させることなく、ストレスをかけることなく非接触にて懸垂保持し搬送する。
	反りウエハ非接触搬送装置	反りのあるウエハを損傷させることなく、ストレスをかけることなく非接触にて懸垂保持し搬送する。
	ウエハチップ非接触搬送装置	ウエハチップ、マイクロレンズを損傷させることなく、ストレスをかけることなく非接触にて懸垂保持し搬送する。
	Non-contact conveyance for wafer chip	Non-contact conveyance for wafer chip,micro lenz,ball
	非接触ピンセット	ウエハ、チップ、ガラス基板、レンズを手操作により把持する。
	Bernoulli tweezers	Non-contact tweezers by hand operation
	プリント基板搬送装置	プリント基板、スルーホール基板、ＦＰＣを非接触状態にて懸垂保持し搬送する
	Non-contact conveyance for Printed circuit board	Draw up by un-contacting regardless of the position of the hole and a size of a printed circuit board
	フィルム搬送装置	偏光板、フィルム、フレキシブルプリント基板、紙を非接触状態にて懸垂保持し供給、積層、搬送する
	フィルム、シート送り出し、 積層装置	積層シートを１枚ずつ送り出し・搬送・積層する装置

太陽電池・ソーラーセル非接触搬送装置

太陽電池・ソーラーセル・薄膜太陽電池・アモルファス太陽電池を非接触にて搬送装置