気体垂直噴流方式「フロートチャックSA-C(SAN)型」

新方式： 気体垂直噴流方式
ベルヌーイチャック「フロートチャックSA-C(SAN)型」は新しく気体垂直噴流方式を採用しております。　　気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。

　「フロートチャックSA-C(SAN)型（図１）は、空気を基板に向かって噴出することにより、基板を空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持し、搬送することができます。

作動面とワークとの間隙が大きい場合、気体噴出部ノズル、クッション室および作動面とワークとの間隙はそれぞれエゼクターのノズル、真空室およびデフューザの機能をはたします。そのためクッション室には負圧が生じワークを引き寄せることになります。ワークが引き寄せられ作動面との間隙が小さくなると、クッション室は圧力室型エアクッション（ホバークラフト）の機能をはたし、クッション室の圧力は急激に上昇し、ワークを引き離します。このクッション室の均衡した圧力を保つ作動面とワークとの距離を自動的に保持する距離にて、ワークを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。

大幅な高負荷・低空気消費量を実現

　右図性能表に示すごとく、

「（Ａ）フロートチャックSA-C(SAN)型」（ベルヌーイチャック）の

　気体垂直噴流方式の性能は、同種類の非接触搬送装置である

「（Ｂ）旋回流方式」および

「（Ｃ）従来型ベルヌーイチャックに

比して、同じ供給空気量であれば、

２～６倍と格段の懸垂力を発揮しています。

気体垂直噴流方式「フロートチャックSA-C(SAN)型」の

開発により空気消費量が大なることで懸案

であった「第１０世代液晶大型ガラス基板」

その他の大型、大重量ワークの非接触搬送を可能
にしています。

	SA-１C (SAN）型	SA-２C (SAN）型	SA-３C (SAN）型	SA-４C (SAN）型	SA-５C (SAN）型	SA-６C (SAN）型
外形Dφmm	３９	49	69	95	105	120
高さhmm	25	20	25	25	25	25
気体供給口	M5	M5	M5	R1/8	R1/8	R1/8