反りのあるウエハを非接触にて反りを矯正し、フラットな状態にてチャッキングし、非接触にて搬送するベルヌーイチャック「フロートチャックＳＯＲ型」 ソーラーリサーチ研究所にて開発しました。 非接触搬送装置の専門メーカ （有）ソーラーリサーチ研究所