「クリーンルーム用ベルヌーイチャック「非接触搬送装置」は、基体中央部にクッション室をり具えており、その中央に設けたノズルより縦旋回に気体を噴出することにより効率よく、エゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、ワークを空中に浮遊した非接触（非接触）状態にて懸垂把持し、搬送、反転、傾斜することが可能です。
　「クリーンルーム用ベルヌーイチャック」の特徴とするところは、ノズルより噴出した排気を吸引捕捉する排気回収機構が設けられていますので排気のクリーンルームへの流出を防げます。

ﾌ-ﾛ-ﾄﾁｬｯｸ 型式	ΦＤ　mm	ｈ　mm	適応 ウエハ
ＷＡ−１Ｃ	65	21.5	４ in
ＷＡ−２Ｃ	100	21.5	5〜６　in
ＷＡ−３Ｃ	120	21.5	８　in
ＷＡ−４Ｃ	180	21.5	１２　in

◎適応
　・シリコンウエハ（Si)
　・シリコンカーバイトウエハ（SiC)
　・サファイアウエハ
　・化合物半導体ウエハ
　　　リン化ガリウムウエハ（GaP)
　　　ヒ化ガリウムウエハ（GaAs)
　　　リン化インジウムウエハ（InP)
　　　窒化ガリウムウエハ（GaN)　　　　

クリーンルーム用ベルヌーイチャック

大阪府豊中市北桜塚2-7-12　
電話　０６（６８５２）３８７６