ＣＶＤ装置　サセプタより高温ウエハ用非接触ピンセット エピタキシャル工程のＣＶＤ装置のサセプターよりウ高温ウエハを非接触にて取り出す非接触ピンセット （有）ソーラーリサーチ研究所