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| SRLベルヌーイチャック「フロ−トチャック」は、 空気を噴出することによりワークを空中に浮遊した無接触状態にて懸垂保持し、搬送します。 （有）ソ−ラ−リサ−チ研究所が発明、開発いたしました。 （有）ソ−ラ−リサ−チ研究所 |
| １ | フロートチャックSA-C(SAN)型 |
| ２ | フロートチャックWA-C型 （クリンルーム用） |
| 3 | フロートチャックLNA型 (超薄ガラス/フィルム用） |
| ４ | ベルヌーイチャック（耐熱ウエハ用） （CVD サセプタ） |
| ５ | ベルヌーイチャック （ガラス基板用） |
| 6 |
ベルヌーイチャック(レンズ用） |
| 7 |
ベルヌーイチャック（小チップ用） |
| 8 |
非接触ピンセット （ウエハ･チップ・レンズ・ガラス他） |