カメラ・センサをワークより定距離浮上させて移動させる
　　　　　　　『ｲﾝﾗｲﾝ自動焦点合わせ装置』（特許）

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　「インライン自動焦点合わせ装置」は、カメラ、
センサをワーク表面の凹凸に追随して、ワーク
より定距離浮上させて移動し常に焦点距離を合わせ
、センシングする装置です。フィルム状太陽電池・
液晶大型ガラス基板・PDPガラス基板の表面の性状、
実装、導電性等の検査を非接触にて検査することを
可能にしました。
　本装置は当社の開発した非接触搬送装置
「フロ−トチャック」と非接触センサを組み合わせて
構成されてます。
　非接触搬送装置「フロ−トチャック」は、気体する
ことにより、ワークと定間隔を保持し空中に浮遊し
た無接触状態にてワーク表面を走行します。
この機構を用いて「フロ−トチャック」に装着されて
いるカメラ・センサは、ワークの凹凸、反り、うねり
に関わらず常にワーク表面より定距離にてセンシング
が可能になります。

◎特徴
　１．インラインにて非接触検査が可能
　２．ワークの移動速度１ｍ／秒
　３．、ワーク寸法を問わない。
　４．傷、汚れを付着させない。
　５．インラインにて検査可能。
◎適応
　１．フィルム状太陽電池
　２．大型液晶ガラス基板
　３．PDPガラス基板
　４．偏光板、 プラスチック板
　４．プリント基板