操作：「ｻﾌｧｲｱｳｴﾊ/SiCウエハ非接触ピンセット」は、気体の供給のＯＮ−ＯＦＦを手の操作により行い。SiC半導体ウエハを非接触にて懸垂保持し所定の場所に移載、脱着を行います。
原理：「ｻﾌｧｲｱｳｴﾊ/SiC非接触ピンセット」は、気体を噴出させることによりウエハとの距離に応じてその内部をエゼクタ効果およびベルヌーイ効果により負圧にし、また圧力室型エアクッション効果および空気流のクッション効果により正圧にすることにより、ウエハを非接触状態にて懸垂保持する機能を有しております。 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　













　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
・手操作にて吸着搬送可能
・非接触である。
・ 傷・汚れ・損傷がない


・ＳｉＣウエハ
・ｻﾌｧｲｱｳｴﾊ
・太陽電池
・チップ
・レンズ
・ガラス基板

◎特徴

「ｻﾌｧｲｱｳｴﾊ/SiCｳｴﾊ用非接触ピンセット」

（特許）

ﾏﾆｭｱﾙ操作によりｻﾌｧｲｱｳｴﾊ/SiCウエハを移載する非接触ピンセット

大阪府豊中市北桜塚2-7-12
Tel 06-6852-3876

1ｲﾝﾁ〜6インチウエハ用

（有） ソーラーリサーチ研究所

◎適応

2mm角ウエハチップ用