アキレス/プロトスキャリア用ベルヌーイチャック

アキレス/プロトスキャリアのウエハを非接触にて収納・取り出し可能な非接触ロボットハンド
『アキレス/プロトスキャリア用ベルヌーイチャック』

『プロトスキャリア用非接触ロボットハンド』は極薄ウエハ、反りのあるウエハを非接触にてプロストキャリアから取り出しまたは収納する場合に使用します。空気を噴出させることによりワークとの距離に応じてその内部をエゼクタ効果およびベルヌーイ効果により負圧にし、また圧力室型エアクッション効果および空気流のクッション効果により正圧にすることにより、基板を非接触状態にて懸垂保持する機能を有しております。