ガラス搬送、 50μmガラス搬送、超薄ガラス、非接触搬送・ベルヌーイチャック

「超薄型ガラス非接触搬送装置」の非接触吸引機構は非接触搬送装置「フロートチャックＬＮＡ型」にて構成されています。
「フロ－トチャックＬＮＡ型」は、空気を噴出させることによりワークとの距離に応じてその内部をエゼクタ効果およびベルヌーイ効果により負圧にし、また圧力室型エアクッション効果および空気流のクッション効果により正圧にすることにより、ワークを非接触状態にて懸垂保持する機能を有しております。
　

　　　　　　　　　　　　　超薄型ガラス非接触搬送装置

「フロートチャックLNA型」は空気噴出ノズルの直下に気体偏向器を設けております。
　気体偏向器により、ノズルより噴出した高圧空気流は直角方向に変流され、直接ワークに衝突し、極薄ガラスを破損することはありません。　従って圧力線図に示すようにワークに高圧噴出空気による局所応力を与えることはありません（負圧になっている）。
　このため薄いワーク、脆いワークも破損することはありません。
　また不織布、紙、布等の通気性ワーク、スルホール基板等も把持、搬送が可能です。

◎適応
１．極薄ガラス（厚さ３０μm）
２．超薄ウエハ（厚さ２０μm）
３．グリーンシート
４．フィルム（厚さ１０μm）
５．通気性ｼｰﾄ（不織布、紙、布他）
６．スルーホール基板
７．太陽電池ウエハ
８．サファイアウエハ