微小ウエハチップ非接触チャック

　　ウエハ・1.0mm角チップ・微小レンズを非接触でつかみ、移載します。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

　この度、ソ－ラ－リサ－チ研究所では、1.0ｍｍ□～
１５ｍｍ□微小ワークのウエハチップを非接触にて把持
搬送する「ウエハ・チップ非接触コレットチャック」を
開発しました。この装置は、気体を噴出することにより
エゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と
圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、小さく
裁断されたウエハチップを空中に浮遊した非接触（非接触）
状態にて懸垂把持し、トレーに収納します。　　　　　
　　搬送、反転、傾斜することが可能です　汚染、損傷、
パッド跡の付着がありません。
　

◎特徴　

１．ダイシングした1.0～15ｍｍ□
の微小ウエハチップを非接触にて
懸垂把持トレーに収納、ハンドリング
が可能

３．トレーよりチップを非接触
にて取り出し可能

３．チップに傷、汚れを
付着させない

４．チップにパッド跡をつけない。

◎適応

ウエハチップ　微小レンズ　微小ワーク