「6in/8inウエハ（兼用）非接触ピンセット」の先端の非接触搬送装置「
フロートチャック」(特許）
新しく気体垂直噴流方式を採用しております。 気体垂直噴流方式は クッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。
「6in/8inウエハ（兼用）非接触ピンセット」のハンドルの先端の非接触搬送装置
「フロートチャック」（特許）をハンドルを持つ手の操作により空気供給のＯＮ−ＯＦＦを行い、ウエハを非接触にて吸着し、脱着を行います。
「6in/8inウエハ（兼用）非接触ピンセット」は、空気を噴出させることによりワークとの距離に応じてその内部をエゼクタ効果およびベルヌーイ効果により負圧にし、また圧力室型エアクッション効果および空気流のクッション効果により正圧にすることにより、ウエハを非接触にて懸垂保持する機能を有しております。
