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| SRL/ベルヌーイチャックシリーズは、新機構「気体垂直噴流方式」を採用しております。、気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。 高効率で気体消費量の少ない非接触搬送装置 ベルヌーイチャックです。 （有）ソ−ラ−リサ−チ研究所 |
| １ | フロートチャックSA-C(SAN)型 |
| ２ | フロートチャックWA-C型 （クリンルーム用） |
| 3 | フロートチャックLNA型 (超薄ガラス/フィルム用） |
| ４ | ベルヌーイチャック（耐熱ウエハ用） （CVD サセプタ） |
| ５ | ベルヌーイチャック （ガラス基板用） |
| 6 |
ベルヌーイチャック(レンズ用） |
| 7 |
ベルヌーイチャック（小チップ用） |
| 8 |
非接触ピンセット （ウエハ･チップ・レンズ・ガラス他） |
非接触ピンセット2inGaNウエハ用
気体垂直気体噴流方式