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　「非接触高精度・高浮上検査テーブル」(Pat.P)は、空気浮上により検査する液晶ガラス基板を高く浮上させて、一定浮上高さを高精度に維持し、レーザ光による表面欠陥検査装置の検査域を搬送します。
　検査域では、空気浮上により液晶ガラス基板は検査テーブル上では高く、かつ常に高精度にて高さレベルを維持し浮上しております。そのため検査域の前後にあるコンベアの上下変動に左右されることはありません。












　「非接触高浮上・高精度検査テーブル」は、浮上装置「ハイフロータ」 (Pat.P)による液晶ガラス基板の浮上機能と非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）の定位置維持機能とを併せ持ち、高く浮上させて、高精度にて高さレベルを維持し移送します。
　従って、レーザによる光線のずれ、カメラによる焦点のずれが許容範囲内になり正確な検査が可能になります。
　浮上装置「ハイフロータ](Pat.P)は、噴出空気流によりに形成されたクッション室に定圧力域を生成し、圧力室式エアクッション作用により液晶ガラス基板を高く浮上させます。
　非接触搬送装置「フロートチャック」は、空気を流により液晶ガラス基板を非接触にて吸引し、保持面とシートとの間隙を常に高精度で一定に保持します。
　「非接触高浮上テーブル」は、浮上装置「ハイフロータ」と非接触搬送装置「フロートチャック」の両者の持つ機能により、液晶ガラス基板を高く浮上させ、高精度に高さレベルを保持し搬送することが可能です。

◎適応

・レーザ表面欠陥検査装置
・カメラ表面欠陥検査装置
・抵抗率測定装置
・センサーによる表面欠陥検査装置