気体垂直噴流方式「フロートチャック」SRLｼﾘｰｽﾞ理論解析

SRLシリーズ：フロートチャックは、新機構「気体垂直噴流方式」を採用しております。、気体垂直噴流方式はクッション室にノズルよ
気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に
懸垂能力を増加させることで、保気体消費量をほぼ半減させました。
高効率で気体消費量の少ない非接触搬送装置ベルヌーイチャックです

有限会社ソ－ラ－リサ－チ研究所
大阪府豊中市北桜塚2-7-14
電話　０６（６８５２）３８７６

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１	フロートチャックSA-C(SAN)型
２	フロートチャックWA-C型　　（クリンルーム用）
3	フロートチャックLNAS型　　　(超薄ガラス/フィルム用）
４	ベルヌーイチャック（耐熱ウエハ用）　　（CVD　サセプタ）
５	ベルヌーイチャック（ガラス基板用）
6	ベルヌーイチャック(プリフォームレンズ用）
7	微小物、ウエハチップ、レンズフロートチャック
8	非接触ピンセット（ウエハ･チップ・レンズ・ガラス他）